A mikro- és nanoelektronika alapjaiban határozza meg mindennapi életünket. Ez az iparág állítja elő a ma már nélkülözhetetlen számítógépek, mobileszközök és hasonlók minden központi elemeit, a számos különféle mikrocsipet: a processzorokat, memóriákat, stb. Ahhoz, hogy a technológia lépést tudjon tartani az igényekkel, intenzív K+F tevékenyégre van szükség, aminek eredményeképp a gyártási folyamatok néhány évente jelentős megújuláson esnek át.

A közeljövő eszközeiben a megfelelő teljesítmény és a gazdaságos gyártás érdekében igen kifinomult, 10 nanométernél is kisebb karakterisztikus mérettel jellemezhető komponensek kialakítására van szükség, amelyek szerkezeti kialakításukban is eltérnek a korábban alkalmazott megoldásoktól. Az eddigi, sík elrendezésű eszközök helyett három dimenziós eljárással készülnek, új anyagok felhasználásával.

Könnyen belátható, hogy a hagyományos (pl. képalkotással működő) minőségellenőrző módszerek ebben a tartományban már nem működőképesek. Ezért az európai mérőberendezés-gyártók K+F konzorciumot alakítottak, amelynek célja méréstechnológiák fejlesztése a mikro- és nanoelektronikai eszközök ezen új generációjának laboratóriumi, valamint gyártásközi vizsgálatára.

A nemzetközi konzorciumot a holland Thermo Fisher elektronmikroszkóp-gyártó cég vezette, és részt vett benne csaknem az összes nagyobb mérőberendezés-gyártó, számos egyetem, valamint a szakterület két vezető európai kutatóközpontja, a belgiumi IMEC ls a francia LETI.

A csoport egyetlen hazai tagja, az NKFIA támogatás kedvezményezettje a Semilab Zrt. A cég az atomerő-mikroszkópiát és a spektroszkópiai méréstechnikákat újszerűen kombináló, alapjelenség szintjén is csak az elmúlt néhány évben leírt eljárást fejlesztett és ültetett át a gyakorlatba az eszközök anyagi összetételének érintés- és roncsolásmentes vizsgálatára, valamint kifejlesztette az infravörös reflektometria alkalmazását FinFET struktúrák vizsgálatára. A projekt szakmai teljesítését az ECSEL JU nemzetközi szervezet elfogadta.

A projekt a Nemzeti Kutatási, Fejlesztési és Innovációs Alap, valamint az ECSEL Joint Undertaking nemzetközi szervezet támogatásával valósult meg, 2016. 04. 01. és 2019. 03. 31. között, NEMZ_15-1-2016-0032. szerződésszám alatt, a Széchenyi 2020 program keretében. A támogatás összege 162 710 000 Ft, a projekt támogatási intenzitása 56,75%.